基于MEMS/NEMS集成制造的微纳米传感器研究

报告题目:基于MEMS/NEMS集成制造的微纳米传感器研究

报告人:李昕欣 中科院上海微系统与信息技术研究所研究员,传感技术国家重点实验室主任

时间:2月23日(周四)下午2:30

地点:化学楼二楼会议室(234)

摘要:

在简要介绍中科院上海微系统所传感技术国家重点实验室之后,重点介绍本课题组近年来的相关感兴趣工作:(1)开创“微创手术”MEMS第三代量产加工技术,研发出系列传感器技术提供给企业进行产品转化,包括手机和无人机等用气压传感器/高度计、汽车TPMS传感器、国家重要工程用加速度传感器等。(2)微纳集成谐振悬臂梁生化痕量检测传感器。(3)用谐振悬臂梁定量提取界面作用热力学/动力学整套参数的方法和应用。(4)微纳集成气象色谱仪(m-GC)及其核心芯片技术。

报告人简介:

分别于清华大学和复旦大学获得学士和博士,曾先后在机械部沈阳仪器仪表工艺研究所、香港科技大学、新加坡南洋理工大学和日本东北大学工作,于2000年入选中科院百人计划回国担任中科院上海微系统与信息技术研究所研究员、博导。2007年起至今任传感技术国家重点实验室主任。2007年获得杰青资助。曾获国家技术发明二等奖和上海市一等奖。曾获中科院百人计划终评优秀,获上海市科技英才称号,获上海市领军人才称号。2009-2013年被韩国国家WCU(world class university)计划聘为国际级学者在全南国立大学担任讲座教授并作为项目负责人带领两名韩国教授组成项目组。现担任JMM、Scientific Report、Micro Nano System Lett.和Nature出版集团期刊Microsyt & Nanoeng等多个国际SCI刊物编辑,是领域顶级国际会议Transducers来自我国唯一的国际掌舵委员会委员,是领域顶级国际会议IEEE MEMS第一个被推选的我国TPC委员。长期研究微纳米传感器和微纳机电系统技术。现作为首席承担科技部重点研发计划(纳米重大专项)以及一系列科研项目。发表的诸多论文中有约200篇国际SCI刊物论文和100多篇国际顶级会议论文。拥有发明专利100余项,其中十几项已经有偿向企业授权转让实现产业化。发明的惯性传感器满足我国重要需求取得重要突破并系列化应用。